Seoul National University
Electronics Processing
Research Laboratary
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국내특허

PUBLICATIONS > Patent > 국내특허 목록
일자 구분 출원/등록번호 발명의 명칭
2004-03-02 등록? 0422455 구리 전해 도금액?
2003-11-10 등록? 0406592 반도체 금속막 형성 방법?
2003-10-09 출원? 10-2003-0070288 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속배선 형성방법??
2003-09-23 출원? 10-2003-0065877 전기 도금용 첨가제를 이용한 무전해 도금 방법??
2003-05-06 출원? 10-2003-0028728 얕은 트렌치 소자 분리용 화학적 기계적 연마 슬러리?
2003-03-11 출원? 10-2003-0015225 전해도금에 의한 고비저항 기판에서의 금속박막 형성방법?
2003-03-11 출원? 10-2003-0015226 은 무전해 도금을 위한 표면 활성화 방법?
2003-03-11 출원? 10-2003-0015227 반도체 배선용 금속막 형성방법?
2003-03-11 출원? 10-2003-0015228 은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법?
2002-12-06 출원? 10-2002-0077444 Ru 박막 증착방법?
2002-06-11 출원? 10-2002-0032506 반도체 배선용 금속막 형성 방법?
2002-06-05 출원? 10-2002-0031577 루테늄 박막 형성 방법?
2002-05-28 출원? 10-2002-0029543 반도체 배선용 구리 박막 형성방법?
2002-03-08 출원? 10-2002-0012424 반도체의 캐패시터 전극 증착 방법?
2002-03-07 출원? 10-2002-0012277 인듐-틴-옥사이드 전극 위에 은을 무전해 도금하는 방법?
2002-03-07 출원? 10-2002-0012278 저저항 구리 배선 형성 방법?
2002-03-07 출원? 10-2002-0012279 무전해 도금을 실시하기 위한 인듐-틴-옥사이드 전극의 활성화 방법?
2002-02-28 출원? 10-2002-0010828 루테늄 박막 형성 방법?
2002-01-04 출원? 10-2002-0000491 기판 표면 처리 방법?
2001-12-28 출원? 10-2001-0086641 반도체 배선용 은박막 형성방법?

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