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반도체 화학공정

2025학년도 1학기 반도체화학공정 과제5 점수 및 답안

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작성자: 이지석 작성일: 2025-06-16 조회: 136회

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안녕하세요, 반도체화학공정 조교 이지석입니다. 

 

과제 5번​ 채점 완료하여 공지드립니다.

 

과제 기한은 지난주 화요일(6/10) 15시 45분까지였고, 이 이후에 제출된 과제는 채점하지 않는 것이 원칙이기에 내부적으로 회의한 결과 지연 제출하신 분들의 과제는 받지 않는 것으로 결론지었습니다. 

 

교수님께서 제출 기한이 출제 후 1주일임을 계속해서 강조하셨고, 저 또한 공지에 기한을 강조하여 알려드렸기 때문에 안타깝게도 그렇게 처리할 수밖에 없었던 점 양해 바랍니다.

 

 

과제는 논리적인 연결이 부족하거나 어불성설인 서술을 한 경우가 아니라면 대부분 정답으로 처리했습니다. 몇몇 기준을 알려드리면 다음과 같습니다. (첨부드린 답안 파일은 참고용입니다.)

 

2의 2) → 답안에는 Mohs hardness를 비교하였으나, Cu surface activation 등도 정답 처리했습니다.

3 →​ similarity variable, Laplace transform 등 어떤 방식으로든 해를 유도한 경우 정답 처리했습니다. 다만, similarity variable​이 명시되지 않거나, 심지어 ppt 슬라이드에 있는 것처럼 아무 유도 과정없이 해로 바로 넘어가는 것은 감점했습니다.

5 →​ CEAC 등 accelerator-suppressor-leveler의 three-additive system의 정확한 mechanism을 요구하는 의도로 출제한 것은 아니었기에, accelerator가 도금 속도를 낮춘다는 등의 전혀 말이 안 되는 서술을 한 경우가 아니라면 대부분 정답 처리했습니다.

 

 

확인하시고, 관련 문의 있으시면 제 메일로 내일(6/17) 24:00까지 부탁드립니다. (교수님의 성적 처리 일정에 따라 변동될 수 있습니다.)

 

한 학기 동안 고생 많으셨습니다.

 

감사합니다.

 

 

조교 이지석

 

Office: 02)880-8940

Cell: 010-4228-3267

E-mail: ljs0215@snu.ac.kr

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