2025년도 반도체화학공정 과제3 점수 및 솔루션입니다. 

- 딜그로브 모델 보정 유무 모두 정답 처리하였습니다. (교수님 말씀)

- 풀이 과정이 맞고 값만 다를 경우 감점 (-10) 만 적용하였습니다.

- 2번의 첫 번째 질문,

vertical, horizontal furnace 모두 근거가 합당한 경우 정답 처리하였습니다.

- 2번의 두 번째 질문은

What is positioned in front of and behind the wafers in the CVD process?

의 의미로 출제하였으나 

웨이퍼 자체의 방향을 묻는 의미로 해석한 경우도 정답 처리하였습니다.

- 30년 된 한국인으로서 도저히 알아볼 수 없는 글씨는 채점할 수가 없었습니다.

관련 문의는 

qkrtndnd4@snu.ac.kr

010-4900-0746

로 부탁드립니다.

- 박수웅 드림 -