Seoul National University
Electronics Processing
Research Laboratary
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국내특허

PUBLICATIONS > Patent > 국내특허 목록
일자 구분 출원/등록번호 발명의 명칭
2011-12-02 등록? 1100084 구리배선 형성방법?
2011-05-20 등록? 1048744 무전해 도금을 통한 코발트 합금 계열의 다층 확산방지막 형성 방법?
2011-04-15 출원? 10-2011-0035310 구리 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물?
2010-06-08 등록? 0963842 구리배선 형성방법?
2009-12-02 등록? 10-2009-0118204 코팅 입자 제조방법?
2009-11-27 출원? 10-2009-0115981 수증기 개질반응용 혼합촉매?
2009-11-09 출원? 10-2009-0107548 구리 CMP 후 캡핑 조성물?
2009-10-21 출원? 10-2009-0100277 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물?
2009-10-01 출원? 10-2009-0093716 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액?
2009-07-22 등록? 0909895 마이크로반응기의 제조방법?
2009-02-17 출원? 10-2009-0012927 미세 유로에서의 촉매 코팅방법?
2008-10-22 등록? 0865748 구리 전해 도금 용액 및 이를 이용한 반도체 소자의 배선 형성방법?
2008-09-19 출원? 10-2008-0092350 무전해 도금을 통한 코발트 합금 계열의 다층 확산방지막 형성방법?
2008-08-28 등록? 0856542 구리 화학적 기계적 연마공정용 슬러리 및 이를 이용한 구리 배선 형성방법?
2008-08-28 등록? 0856543 반도체 소자용 구리 배선의 산화 및 확산 방지막 형성방법?
2008-05-19 등록? 0832040 마이크로반응기의 제조방법?
2007-12-17 등록? 0788279 구리 무전해 도금에서의 단차평탄화 방법?
2007-10-04 출원? 10-2007-0099923 마이크로반응기의 제조방법?
2007-08-20 등록? 0752504 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속 배선 형성방법?
2007-07-02 출원? 10-2007-0066110 구리 다마신용 화학적 기계적 연마 공정용 슬러리 제조 방법?

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