Seoul National University
Electronics Processing
Research Laboratary
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국내특허

PUBLICATIONS > Patent > 국내특허 목록
일자 구분 출원/등록번호 발명의 명칭
2007-12-17 등록? 0788279 구리 무전해 도금에서의 단차평탄화 방법?
2007-10-04 출원? 10-2007-0099923 마이크로반응기의 제조방법?
2007-08-20 등록? 0752504 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속 배선 형성방법?
2007-07-02 출원? 10-2007-0066110 구리 다마신용 화학적 기계적 연마 공정용 슬러리 제조 방법?
2007-06-20 등록? 0732654 실리콘 분리판의 제조방법?
2007-06-04 등록? 0727214 팔라듐-은 활성화 방법을 이용한 은 전해도금방법?
2007-06-04 등록? 0727213 새로운 첨가제를 이용한 초등각 구리 전해도금 방법?
2007-05-30 출원? 10-2007-0052737 반도체 소자용 구리 배선의 산화 및 확산 방지막 형성방법?
2007-05-02 출원? 10-2007-0042775 구리 전해 도금 용액 및 이를 이용한 반도체 소자의 배선 형성방법?
2007-04-19 등록? 0711509 자연개질 반응에 의해 물과 에탄올 혼합물로부터 수소를 제조하는데 사용되는 복합 금속 담지 촉매, 그 제조방법 및 상기 촉매를 이용하여 수소를 제조하는 방법?
2007-03-12 등록? 0696622 연료전지용 마이크로 개질 반응기 및 그 제조방법?
2006-11-06 등록? 0645708 은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법?
2006-09-20 출원? 10-2006-0091234 마이크로반응기의 제조방법?
2006-09-20 출원? 10-2006-0091238 구리 무전해 도금에서의 단차평탄화 방법?
2006-09-11 출원? 10-2006-0087350 구리 화학적 기계적 연마공정용 슬러리 및 이를 이용한 구리 배선 형성방법?
2006-05-04 등록? 0578976 접착력이 우수한 다층 박막 및 이의 제조방법?
2006-04-26 출원? 10-2006-0037586 실리콘 분리판의 제조방법?
2006-01-26 등록? 0577348 얕은 트렌치 소자 분리용 화학적 기계적 연마 슬러리?
2005-12-07 출원? 10-2005-0118660 평탄화제를 이용한 금속 전해 도금 방법?
2005-12-07 출원? 10-2005-0118659 첨가제를 이용한 초등각 구리 무전해 도금 방법?

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