Seoul National University
Electronics Processing
Research Laboratary
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국내특허

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일자 구분 출원/등록번호 발명의 명칭
2007-05-30 출원? 10-2007-0052737 반도체 소자용 구리 배선의 산화 및 확산 방지막 형성방법?
2007-05-02 출원? 10-2007-0042775 구리 전해 도금 용액 및 이를 이용한 반도체 소자의 배선 형성방법?
2007-04-19 등록? 0711509 자연개질 반응에 의해 물과 에탄올 혼합물로부터 수소를 제조하는데 사용되는 복합 금속 담지 촉매, 그 제조방법 및 상기 촉매를 이용하여 수소를 제조하는 방법?
2007-03-12 등록? 0696622 연료전지용 마이크로 개질 반응기 및 그 제조방법?
2006-11-06 등록? 0645708 은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법?
2006-09-20 출원? 10-2006-0091234 마이크로반응기의 제조방법?
2006-09-20 출원? 10-2006-0091238 구리 무전해 도금에서의 단차평탄화 방법?
2006-09-11 출원? 10-2006-0087350 구리 화학적 기계적 연마공정용 슬러리 및 이를 이용한 구리 배선 형성방법?
2006-05-04 등록? 0578976 접착력이 우수한 다층 박막 및 이의 제조방법?
2006-04-26 출원? 10-2006-0037586 실리콘 분리판의 제조방법?
2006-01-26 등록? 0577348 얕은 트렌치 소자 분리용 화학적 기계적 연마 슬러리?
2005-12-07 출원? 10-2005-0118660 평탄화제를 이용한 금속 전해 도금 방법?
2005-12-07 출원? 10-2005-0118659 첨가제를 이용한 초등각 구리 무전해 도금 방법?
2005-12-06 등록? 0536254 연료전지 시스템, 이에 사용되는 개질기, 반응 기판 및 그 반응 기판의 제조 방법?
2005-12-05 등록? 0535977 전기 도금용 첨가제를 이용한 무전해 도금 방법??
2005-11-14 등록? 0530008 Ru 박막 증착방법?
2005-10-19 출원? 10-2005-0098689 연료전지용 마이크로 개질 반응기 및 그 제조방법?
2005-10-12 등록? 0522824 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속배선 형성방법??
2005-08-16 등록? 0509865 은 무전해 도금을 위한 표면 활성화 방법?
2005-06-07 등록? 0495648 전해도금에 의한 고비저항 기판에서의 금속박막 형성방법?

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