Seoul National University
Electronics Processing
Research Laboratary
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국내특허

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일자 구분 출원/등록번호 발명의 명칭
2005-12-06 등록? 0536254 연료전지 시스템, 이에 사용되는 개질기, 반응 기판 및 그 반응 기판의 제조 방법?
2005-12-05 등록? 0535977 전기 도금용 첨가제를 이용한 무전해 도금 방법??
2005-11-14 등록? 0530008 Ru 박막 증착방법?
2005-10-19 출원? 10-2005-0098689 연료전지용 마이크로 개질 반응기 및 그 제조방법?
2005-10-12 등록? 0522824 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속배선 형성방법??
2005-08-16 등록? 0509865 은 무전해 도금을 위한 표면 활성화 방법?
2005-06-07 등록? 0495648 전해도금에 의한 고비저항 기판에서의 금속박막 형성방법?
2005-05-26 등록? 0493707 루테늄 박막 형성 방법?
2005-05-16 등록? 0491310 반도체 배선용 금속막 형성방법?
2005-03-02 등록? 0475899 반도체의 캐패시터 전극 증착 방법?
2005-02-25 등록? 0475403 반도체 배선용 구리 박막 형성방법?
2005-02-25 등록? 0475402 루테늄 박막 형성 방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106237 은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106238 팔라듐-은 활성화 방법을 이용한 은 전해도금방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106239 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속 배선 형성방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106240 새로운 첨가제를 이용한 초등각 구리 전해도금 방법?
2004-10-19 등록? 0454634 구리막 형성방법?
2004-10-19 등록? 0454633 기판 표면 처리 방법?
2004-10-15 출원? 10-2004-0082581 접착력이 우수한 다층 박막 및 이의 제조방법?
2004-08-17 등록? 0445839 반도체 배선용 은박막 형성방법?

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