Seoul National University
Electronics Processing
Research Laboratary
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국내특허

PUBLICATIONS > Patent > 국내특허 목록
일자 구분 출원/등록번호 발명의 명칭
2005-05-26 등록? 0493707 루테늄 박막 형성 방법?
2005-05-16 등록? 0491310 반도체 배선용 금속막 형성방법?
2005-03-02 등록? 0475899 반도체의 캐패시터 전극 증착 방법?
2005-02-25 등록? 0475403 반도체 배선용 구리 박막 형성방법?
2005-02-25 등록? 0475402 루테늄 박막 형성 방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106237 은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106238 팔라듐-은 활성화 방법을 이용한 은 전해도금방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106239 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속 배선 형성방법?
2004-12-15 출원? 10-2004-0106240 새로운 첨가제를 이용한 초등각 구리 전해도금 방법?
2004-10-19 등록? 0454634 구리막 형성방법?
2004-10-19 등록? 0454633 기판 표면 처리 방법?
2004-10-15 출원? 10-2004-0082581 접착력이 우수한 다층 박막 및 이의 제조방법?
2004-08-17 등록? 0445839 반도체 배선용 은박막 형성방법?
2004-05-25 등록? 0434670 구리 무전해 도금막의 비저항 저감방법?
2004-05-14 출원? 10-2004-0034212 연료전지 시스템, 이에 사용되는 개질기, 반응 기판 및 그 반응 기판의 제조 방법?
2004-04-29 등록? 0430949 무전해 은 도금액 및 이를 이용한 금속 배선 형성방법?
2004-03-25 등록? 0426209 반도체 배선용 구리막 형성방법?
2004-03-02 등록? 0422455 구리 전해 도금액?
2003-11-10 등록? 0406592 반도체 금속막 형성 방법?
2003-10-09 출원? 10-2003-0070288 무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속배선 형성방법??

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