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국내학술대회

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게재일 발표자 / 제목 / 학회명
2005. 04. 22
발표자
김준엽, 권오중, 김재정?
제목
Development of a silicon-based miniature PEM fuel cell
학회명
한국화학공학회 2005 봄 학술대회?
2004. 04. 24
발표자
황선미, 권오중, 김재정?
제목
The study of catalyst loading method for micro reactor
학회명
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
2004. 04. 23
발표자
구효철, 안응진, 김재정?
제목
Direct electroplating of silver film on Pd-Ag activated TiN surface
학회명
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
2004. 04. 23
발표자
안진구, 권오중, 김재정?
제목
Thin film heater for temperature control of micro reactor
학회명
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
2004. 04. 23
발표자
강민철, 이종원, 김재정?
제목
Electrochemcial investigation of H2O2 based slurry for Cu CMP
학회명
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
2004. 02. 20
발표자
강무성, 김재정?
제목
Pd 표면 활성화를 이용한 Cu 무전해 도금에서 박막 성장의 모델링과 반사도 실시간 측정?
학회명
제 11회 반도체 학술대회?
2004. 02. 20
발표자
조성기, 한희, 김수길, 김재정?
제목
MOCVD로 증착한 Ru Barrier 특성과 Damascene 구리 전해 도금의 Substrate로서의 적용?
학회명
제 11회 반도체 학술대회?
2003. 10. 25
발표자
한희, 김재정?
제목
New pretreatment technique for surface improvement of Ru films in Ru-MOCVD
학회명
한국화학공학회 2003 가을 학술대회?
2003. 10. 25
발표자
이창화, 김재정?
제목
Self-annealing effect of electrolessly deposited copper thin films based on Co(II)-ethylenediamine as a reducing agent
학회명
한국화학공학회 2003 가을 학술대회?
2003. 10. 25
발표자
김정아, 이지연, 차승환, 김재정, 박태현?
제목
Continuous-flow PCR on PDMS-glass microchip
학회명
한국화학공학회 2003 가을 학술대회?
2003. 04. 26
발표자
구효철, 차승환, 김재정?
제목
Investigation of various kinds of surface pretreatment for silver electroless deposition
학회명
한국화학공학회 2003 봄 학술대회?
2003. 04. 26
발표자
안응진, 서준모, 김재정?
제목
The effect of thiourea on Ag electroplating
학회명
한국화학공학회 2003 봄 학술대회?
2003. 04. 26
발표자
김재정,이창화?
제목
반도체 및 디스플레이에서의 전해도금과 무전해도금?
학회명
한국화학공학회 2003 봄 학술대회?
2003. 02. 27
발표자
김수길, 차승환, 김용식, 이창화, 김재정?
제목
Electrodeposition of Cu on Electroless Plated Cu Seed Layer
학회명
제 10회 반도체 학술대회?
2002. 10. 24
발표자
김용식, 김수길, 김재정?
제목
Damascene 구리 배선 구조에 있어서 은박막을 이용한 산화 방지막의 상온 형성?
학회명
한국화학공학회 2002 가을 학술대회?
2002. 10. 24
발표자
차승환, 김재정?
제목
구리 무전해 도금의 ULSI 회로 내 배선 적용?
학회명
한국화학공학회 2002 가을 학술대회?
2002. 04. 26
발표자
권오중, 김재정?
제목
고집적 metal-insulator-metal capacitor를 위한 Ru 전해도금?
학회명
한국화학공학회 2002 봄 학술대회?
2002. 04. 26
발표자
차승환, 김재정?
제목
ITO 위에서의 구리 무전해 도금을 위한 팔라듐 증착 방법 연구?
학회명
한국화학공학회 2002 봄 학술대회?
2001. 10. 21
발표자
최길호, 윤도영, 김재정?
제목
Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 (CFD Analysis of Ru-MOCVD Process)?
학회명
한국화학공학회 2001 가을 학술대회?
2001. 10. 21
발표자
차승환, 김재정?
제목
ULSI 배선을 위한 구리 무전해 도금 전처리 방법 최적화 연구 (Optimized Surface Pre-treatments for Cu Electroless Plating in ULSI Device Interconnection)?
학회명
한국화학공학회 2001 가을 학술대회?

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