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국내학술대회

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게재일 발표자 / 제목 / 학회명
2003. 02. 27
발표자
김수길, 차승환, 김용식, 이창화, 김재정?
제목
Electrodeposition of Cu on Electroless Plated Cu Seed Layer
학회명
제 10회 반도체 학술대회?
2002. 10. 24
발표자
김용식, 김수길, 김재정?
제목
Damascene 구리 배선 구조에 있어서 은박막을 이용한 산화 방지막의 상온 형성?
학회명
한국화학공학회 2002 가을 학술대회?
2002. 10. 24
발표자
차승환, 김재정?
제목
구리 무전해 도금의 ULSI 회로 내 배선 적용?
학회명
한국화학공학회 2002 가을 학술대회?
2002. 04. 26
발표자
권오중, 김재정?
제목
고집적 metal-insulator-metal capacitor를 위한 Ru 전해도금?
학회명
한국화학공학회 2002 봄 학술대회?
2002. 04. 26
발표자
차승환, 김재정?
제목
ITO 위에서의 구리 무전해 도금을 위한 팔라듐 증착 방법 연구?
학회명
한국화학공학회 2002 봄 학술대회?
2001. 10. 21
발표자
최길호, 윤도영, 김재정?
제목
Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 (CFD Analysis of Ru-MOCVD Process)?
학회명
한국화학공학회 2001 가을 학술대회?
2001. 10. 21
발표자
차승환, 김재정?
제목
ULSI 배선을 위한 구리 무전해 도금 전처리 방법 최적화 연구 (Optimized Surface Pre-treatments for Cu Electroless Plating in ULSI Device Interconnection)?
학회명
한국화학공학회 2001 가을 학술대회?
2000. 10. 21
발표자
김재정?
제목
미래 전자 소재에서의 화학공학?
학회명
한국화학공학회 2000 가을 학술대회?
2000. 10. 01
발표자
정두환, 윤도영, 김재정?
제목
Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 및 Iodine 의 효과 (CFD Analysis of Ru-MOCVD Process: Effect of Iodine)?
학회명
한국화학공학회 2000 가을 학술대회?
2000. 08. 04
발표자
정두환, 김문수, 윤도영, 김재정?
제목
Ru MOCVD에서의 요오드 효과?
학회명
제3회 CVD 심포지움?
2000. 04. 21
발표자
김재정?
제목
초고집적 반도체 세대의 공정 기술 (Semiconductor Processes In ULSI era)?
학회명
한국화학공학회 2000 봄 학술대회?
1996. 10. 01
발표자
정상철, 박지수, 윤여분, 노재성, 김재정?
제목
Ti-Silicide 형성에 미치는 전세정 효과 (The Effect of Precleaning Treatments on The Formation of Ti-Silicide)?
학회명
한국화학공학회 가을 학술대회?

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