| 2007-12-17 |
등록? |
0788279 |
구리 무전해 도금에서의 단차평탄화 방법? |
| 2007-10-04 |
출원? |
10-2007-0099923 |
마이크로반응기의 제조방법? |
| 2007-08-20 |
등록? |
0752504 |
무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속 배선 형성방법? |
| 2007-07-02 |
출원? |
10-2007-0066110 |
구리 다마신용 화학적 기계적 연마 공정용 슬러리 제조 방법? |
| 2007-06-20 |
등록? |
0732654 |
실리콘 분리판의 제조방법? |
| 2007-06-04 |
등록? |
0727214 |
팔라듐-은 활성화 방법을 이용한 은 전해도금방법? |
| 2007-06-04 |
등록? |
0727213 |
새로운 첨가제를 이용한 초등각 구리 전해도금 방법? |
| 2007-05-30 |
출원? |
10-2007-0052737 |
반도체 소자용 구리 배선의 산화 및 확산 방지막 형성방법? |
| 2007-05-02 |
출원? |
10-2007-0042775 |
구리 전해 도금 용액 및 이를 이용한 반도체 소자의 배선 형성방법? |
| 2007-04-19 |
등록? |
0711509 |
자연개질 반응에 의해 물과 에탄올 혼합물로부터 수소를 제조하는데 사용되는 복합 금속 담지 촉매, 그 제조방법 및 상기 촉매를 이용하여 수소를 제조하는 방법? |
| 2007-03-12 |
등록? |
0696622 |
연료전지용 마이크로 개질 반응기 및 그 제조방법? |
| 2006-11-06 |
등록? |
0645708 |
은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법? |
| 2006-09-20 |
출원? |
10-2006-0091234 |
마이크로반응기의 제조방법? |
| 2006-09-20 |
출원? |
10-2006-0091238 |
구리 무전해 도금에서의 단차평탄화 방법? |
| 2006-09-11 |
출원? |
10-2006-0087350 |
구리 화학적 기계적 연마공정용 슬러리 및 이를 이용한 구리 배선 형성방법? |
| 2006-05-04 |
등록? |
0578976 |
접착력이 우수한 다층 박막 및 이의 제조방법? |
| 2006-04-26 |
출원? |
10-2006-0037586 |
실리콘 분리판의 제조방법? |
| 2006-01-26 |
등록? |
0577348 |
얕은 트렌치 소자 분리용 화학적 기계적 연마 슬러리? |
| 2005-12-07 |
출원? |
10-2005-0118660 |
평탄화제를 이용한 금속 전해 도금 방법? |
| 2005-12-07 |
출원? |
10-2005-0118659 |
첨가제를 이용한 초등각 구리 무전해 도금 방법? |
