2004-05-25 |
등록? |
0434670 |
구리 무전해 도금막의 비저항 저감방법? |
2004-05-14 |
출원? |
10-2004-0034212 |
연료전지 시스템, 이에 사용되는 개질기, 반응 기판 및 그 반응 기판의 제조 방법? |
2004-04-29 |
등록? |
0430949 |
무전해 은 도금액 및 이를 이용한 금속 배선 형성방법? |
2004-03-25 |
등록? |
0426209 |
반도체 배선용 구리막 형성방법? |
2004-03-02 |
등록? |
0422455 |
구리 전해 도금액? |
2003-11-10 |
등록? |
0406592 |
반도체 금속막 형성 방법? |
2003-10-09 |
출원? |
10-2003-0070288 |
무전해 도금을 이용한 패턴 내 금속배선 형성방법?? |
2003-09-23 |
출원? |
10-2003-0065877 |
전기 도금용 첨가제를 이용한 무전해 도금 방법?? |
2003-05-06 |
출원? |
10-2003-0028728 |
얕은 트렌치 소자 분리용 화학적 기계적 연마 슬러리? |
2003-03-11 |
출원? |
10-2003-0015225 |
전해도금에 의한 고비저항 기판에서의 금속박막 형성방법? |
2003-03-11 |
출원? |
10-2003-0015226 |
은 무전해 도금을 위한 표면 활성화 방법? |
2003-03-11 |
출원? |
10-2003-0015227 |
반도체 배선용 금속막 형성방법? |
2003-03-11 |
출원? |
10-2003-0015228 |
은 박막 형성용 전기도금용액 및 그 용액을 이용한 은 박막 형성방법? |
2002-12-06 |
출원? |
10-2002-0077444 |
Ru 박막 증착방법? |
2002-06-11 |
출원? |
10-2002-0032506 |
반도체 배선용 금속막 형성 방법? |
2002-06-05 |
출원? |
10-2002-0031577 |
루테늄 박막 형성 방법? |
2002-05-28 |
출원? |
10-2002-0029543 |
반도체 배선용 구리 박막 형성방법? |
2002-03-08 |
출원? |
10-2002-0012424 |
반도체의 캐패시터 전극 증착 방법? |
2002-03-07 |
출원? |
10-2002-0012277 |
인듐-틴-옥사이드 전극 위에 은을 무전해 도금하는 방법? |
2002-03-07 |
출원? |
10-2002-0012278 |
저저항 구리 배선 형성 방법? |