2006. 10. 28 |
발표자 |
이창화, 김애림, 김재정?
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제목 |
Cu Electroless Bottom-up Filling Techniques for ULSI Interconnect Fabrication
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학회명 |
한국화학공학회 2006 가을 학술대회?
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2006. 10. 28 |
발표자 |
황선미, 김재정?
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제목 |
Silicon-based micro-reactor for preferential CO oxidation
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학회명 |
한국화학공학회 2006 가을 학술대회?
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2006. 04. 21 |
발표자 |
김승수, 조성기, 김재정?
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제목 |
정전류의 펄스 파형을 이용하여 형성된 구리 배선의 특성 및 전착 형태 연구?
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학회명 |
한국화학공학회 2006 봄 학술대회?
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2006. 04. 20 |
발표자 |
윤덕형, 권오중, 황선미, 김재정?
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제목 |
Silicon based methanol catalytic combustor to heat up methanol steam reformer
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학회명 |
한국화학공학회 2006 봄 학술대회?
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2006. 02. 26 |
발표자 |
조성기, 황순식, 김재정?
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제목 |
반도체 구리 배선 공정을 위한 damascene 전해도금에서의 단차 평탄화 공정 (leveling) 개발?
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학회명 |
제 13회 반도체 학술대회?
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2005. 10. 21 |
발표자 |
이종균, 김재정?
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제목 |
은(Ag) 초등각 전착에서 씨앗층(seed layer)의 영향?
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학회명 |
한국화학공학회 2005 가을 학술대회?
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2005. 10. 21 |
발표자 |
김서영, 구효철, 김재정?
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제목 |
Various pretreatment methods for silver electroless deposition
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학회명 |
한국화학공학회 2005 가을 학술대회?
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2005. 10. 21 |
발표자 |
노정임, 차승환, 김재정?
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제목 |
Fabrication of temperature controller and surface treatement for PCR chip
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학회명 |
한국화학공학회 2005 가을 학술대회?
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2005. 08. 26 |
발표자 |
구효철, 김재정?
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제목 |
Electroless plated thin silver films with in-situ solution performance analysis
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학회명 |
제 3회 나노화학공정 심포지움?
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2005. 04. 22 |
발표자 |
황순식, 조성기, 김수길, 김재정?
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제목 |
반도체 배선용 구리 전해도금에 있어 유기 첨가제를 이용한 과전착 조절 공정?
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학회명 |
한국화학공학회 2005 봄 학술대회?
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2005. 04. 22 |
발표자 |
김준엽, 권오중, 김재정?
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제목 |
Development of a silicon-based miniature PEM fuel cell
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학회명 |
한국화학공학회 2005 봄 학술대회?
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2004. 04. 24 |
발표자 |
황선미, 권오중, 김재정?
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제목 |
The study of catalyst loading method for micro reactor
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학회명 |
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
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2004. 04. 23 |
발표자 |
구효철, 안응진, 김재정?
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제목 |
Direct electroplating of silver film on Pd-Ag activated TiN surface
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학회명 |
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
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2004. 04. 23 |
발표자 |
안진구, 권오중, 김재정?
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제목 |
Thin film heater for temperature control of micro reactor
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학회명 |
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
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2004. 04. 23 |
발표자 |
강민철, 이종원, 김재정?
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제목 |
Electrochemcial investigation of H2O2 based slurry for Cu CMP
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학회명 |
한국화학공학회 2004 봄 학술대회?
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2004. 02. 20 |
발표자 |
강무성, 김재정?
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제목 |
Pd 표면 활성화를 이용한 Cu 무전해 도금에서 박막 성장의 모델링과 반사도 실시간 측정?
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학회명 |
제 11회 반도체 학술대회?
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2004. 02. 20 |
발표자 |
조성기, 한희, 김수길, 김재정?
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제목 |
MOCVD로 증착한 Ru Barrier 특성과 Damascene 구리 전해 도금의 Substrate로서의 적용?
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학회명 |
제 11회 반도체 학술대회?
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2003. 10. 25 |
발표자 |
한희, 김재정?
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제목 |
New pretreatment technique for surface improvement of Ru films in Ru-MOCVD
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학회명 |
한국화학공학회 2003 가을 학술대회?
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2003. 10. 25 |
발표자 |
이창화, 김재정?
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제목 |
Self-annealing effect of electrolessly deposited copper thin films based on Co(II)-ethylenediamine as a reducing agent
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학회명 |
한국화학공학회 2003 가을 학술대회?
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2003. 10. 25 |
발표자 |
김정아, 이지연, 차승환, 김재정, 박태현?
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제목 |
Continuous-flow PCR on PDMS-glass microchip
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학회명 |
한국화학공학회 2003 가을 학술대회?
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