| 2003. 04. 26 |
| 발표자 |
구효철, 차승환, 김재정?
|
| 제목 |
Investigation of various kinds of surface pretreatment for silver electroless deposition
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2003 봄 학술대회?
|
|
| 2003. 04. 26 |
| 발표자 |
안응진, 서준모, 김재정?
|
| 제목 |
The effect of thiourea on Ag electroplating
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2003 봄 학술대회?
|
|
| 2003. 04. 26 |
| 발표자 |
김재정,이창화?
|
| 제목 |
반도체 및 디스플레이에서의 전해도금과 무전해도금?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2003 봄 학술대회?
|
|
| 2003. 02. 27 |
| 발표자 |
김수길, 차승환, 김용식, 이창화, 김재정?
|
| 제목 |
Electrodeposition of Cu on Electroless Plated Cu Seed Layer
|
| 학회명 |
제 10회 반도체 학술대회?
|
|
| 2002. 10. 24 |
| 발표자 |
김용식, 김수길, 김재정?
|
| 제목 |
Damascene 구리 배선 구조에 있어서 은박막을 이용한 산화 방지막의 상온 형성?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2002 가을 학술대회?
|
|
| 2002. 10. 24 |
| 발표자 |
차승환, 김재정?
|
| 제목 |
구리 무전해 도금의 ULSI 회로 내 배선 적용?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2002 가을 학술대회?
|
|
| 2002. 04. 26 |
| 발표자 |
권오중, 김재정?
|
| 제목 |
고집적 metal-insulator-metal capacitor를 위한 Ru 전해도금?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2002 봄 학술대회?
|
|
| 2002. 04. 26 |
| 발표자 |
차승환, 김재정?
|
| 제목 |
ITO 위에서의 구리 무전해 도금을 위한 팔라듐 증착 방법 연구?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2002 봄 학술대회?
|
|
| 2001. 10. 21 |
| 발표자 |
최길호, 윤도영, 김재정?
|
| 제목 |
Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 (CFD Analysis of Ru-MOCVD Process)?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2001 가을 학술대회?
|
|
| 2001. 10. 21 |
| 발표자 |
차승환, 김재정?
|
| 제목 |
ULSI 배선을 위한 구리 무전해 도금 전처리 방법 최적화 연구 (Optimized Surface Pre-treatments for Cu Electroless Plating in ULSI Device Interconnection)?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2001 가을 학술대회?
|
|
| 2000. 10. 21 |
| 발표자 |
김재정?
|
| 제목 |
미래 전자 소재에서의 화학공학?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2000 가을 학술대회?
|
|
| 2000. 10. 01 |
| 발표자 |
정두환, 윤도영, 김재정?
|
| 제목 |
Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 및 Iodine 의 효과 (CFD Analysis of Ru-MOCVD Process: Effect of Iodine)?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2000 가을 학술대회?
|
|
| 2000. 08. 04 |
| 발표자 |
정두환, 김문수, 윤도영, 김재정?
|
| 제목 |
Ru MOCVD에서의 요오드 효과?
|
| 학회명 |
제3회 CVD 심포지움?
|
|
| 2000. 04. 21 |
| 발표자 |
김재정?
|
| 제목 |
초고집적 반도체 세대의 공정 기술 (Semiconductor Processes In ULSI era)?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 2000 봄 학술대회?
|
|
| 1996. 10. 01 |
| 발표자 |
정상철, 박지수, 윤여분, 노재성, 김재정?
|
| 제목 |
Ti-Silicide 형성에 미치는 전세정 효과 (The Effect of Precleaning Treatments on The Formation of Ti-Silicide)?
|
| 학회명 |
한국화학공학회 가을 학술대회?
|
|
